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真空除氧的工作原理是應用亨利定律和道爾頓定律，根據(jù)亨利定律可知，在封閉容器中，任何氣體同時存在于水面上，則氣體的溶解度與其自己的分壓力成正比，而且氣體的溶解度僅與其本身的分壓力有關。在一定壓力下，隨著水溫升高，水蒸汽的分壓力增大，而空氣和氧氣的分壓力越來越小。在100℃時，氧氣的分壓力降低到零，水中的溶解氧也降低到零。當水面上壓力小于大氣壓力時，氧氣的溶解度在較低水溫時也可達到零。這樣，水面上空間氧氣分子被排出，或轉變成其它氣體，從而氧的分壓力為零，水中氧氣就不斷地逸出，達到除氧的效果。
這種除氧方法一般在30℃～60℃溫度下進行?？蓪崿F(xiàn)水面低溫狀態(tài)下除氧(在60℃或常溫)，對熱力鍋爐和負荷波動大而熱力除氧效果不佳的蒸汽鍋爐，均可用真空除氧而獲得滿意的除氧效果。相對于熱力除氧技術來說：它的加熱條件要求很低，鍋爐房自耗汽量減少，并且真空除氧器可低位布置，對運行管理噴射泵、加壓泵等關鍵設備的要求比熱力除氧更高。低位布置也需要一定的高度差，而且對噴射泵、加壓泵等關鍵設備的運行管理要求也很高。
